Aplicaciones del Generador de Ozono en la Fabricación de Semiconductores
A medida que los procesos de semiconductores continúan avanzando hacia anchos de línea más pequeños, el control de contaminación y la precisión del tratamiento superficial se han convertido en factores críticos que determinan el rendimiento de los chips. El ozono (O₃), con sus fuertes propiedades oxidantes, su naturaleza libre de residuos y su controlabilidad de proceso, está desempeñando un papel cada vez más importante en la industria de semiconductores.
I. Aplicaciones clave del ozono en la fabricación de semiconductores
El ozono se utiliza ampliamente en diversos procesos de semiconductores, incluidos el depósito químico en fase vapor (CVD), el depósito de capas atómicas (ALD), la limpieza de obleas, la eliminación de fotorresina, el tratamiento superficial y el crecimiento de óxido.
1. Limpieza de obleas
Las partículas, residuos orgánicos y contaminantes metálicos en las superficies de las obleas son causas principales de fallos en los dispositivos. El agua ozonizada elimina eficazmente los contaminantes superficiales mediante un mecanismo combinado de oxidación y quelación, evitando cortocircuitos o defectos de rendimiento causados por residuos. En comparación con la limpieza RCA tradicional, la limpieza basada en ozono es más respetuosa con el medio ambiente, elimina el costoso tratamiento de residuos y ofrece costos operativos generales más bajos.
2. Formación de Óxido de Puerta
En dispositivos semiconductores como los MOSFET, el dióxido de silicio (SiO₂) actúa como la capa aislante central, y su calidad afecta directamente el rendimiento eléctrico del dispositivo. El ozono permite una oxidación precisa a bajas temperaturas (200–400°C), produciendo capas de óxido uniformes y densas con baja densidad de defectos y constantes dieléctricas estables, evitando eficazmente daños térmicos en la estructura de la oblea.
3. Eliminación de Fotorresistencia
Después de la fotolitografía, el fotorresistente residual debe eliminarse por completo. El decapado con agua ozonizada logra una tasa de corrosión inferior a 0,1 nm/min en interconexiones metálicas como el cobre, superando significativamente a las mezclas tradicionales de ácido sulfúrico y peróxido.
4. Deposición de películas delgadas
En los procesos CVD de TEOS/ozono, el ozono actúa como oxidante en las reacciones de deposición de películas y es una tecnología clave para producir capas dieléctricas de alta calidad.
II. Requisitos técnicos para sistemas de generación de ozono de grado semiconductor
La fabricación de semiconductores impone exigencias extremadamente estrictas a losgenerador de ozonosistemas: alta concentración, alta pureza, alta precisión y alta estabilidad son esenciales. El equipo debe cumplir los siguientes criterios:
Pureza ultraalta: garantizar que ningún ion metálico o partícula contamine las obleas;
Control preciso de la concentración: la concentración y el caudal de ozono deben ajustarse con precisión para adaptarse a diversos requisitos de proceso;
Alta fiabilidad: capaz de funcionamiento estable continuo 24/7.
El mercado de ozono de grado semiconductor generador de ozonoestá creciendo rápidamente. Según investigaciones de la industria, el tamaño del mercado global de generadores de ozono utilizados en aplicaciones semiconductoras alcanzó aproximadamente los 104 millones de dólares estadounidenses en 2025 y se proyecta que crezca hasta los 160 millones de dólares para 2032.
III. SANKANG OZONO – Apoyando el Desarrollo de la Industria de Semiconductores de Alta Calidad
SANKANG OZONO se ha dedicado durante mucho tiempo a la tecnología de generación de ozono, con un enfoque continuo en las necesidades de sectores de fabricación de alta gama como semiconductores y fotovoltaicos. Aprovechando nuestra experiencia técnica en la investigación del ozono, nos comprometemos a proporcionar a los clientes soluciones de sistemas de generación de ozono de alta pureza y alta estabilidad.
De cara al futuro, Sankang Ozono continuará aumentando la inversión en I+D en aplicaciones de ozono de grado semiconductor, contribuyendo al crecimiento de alta calidad de la industria de semiconductores de China.
